低温等离子体技术在废气处理中的应用随着工业经济的发展，石油、制药、油漆、印刷和涂料等行业产生的挥发性有机废气也日渐增多，这些废气不仅会在大气中停留 较长的时间，还会扩散和漂移到较远的地方，给环境带来严重的污染，这些废气吸入人体，直接对人体的健康产生极大的危害；另外工业烟气的无控制排放使全球性的大气环境日益恶化，酸雨(主要来源于工业排放的硫氧化物和氮氧化物) 的危害引起了各国的重视。由于大气受污染而酸化，导致了生态环境的破坏，重大灾难频繁发生，给人类造成了巨大损失。因此选择一种经济、可行性强的处理方法势在必行。

这些废气经过低温等离子废气净化器净化后，废气尚含有部分小分子的物质及臭氧，采用水洗工艺可以对污染物进行进一步处理，同时减少废气中臭氧含量，因此在此过程中，部分小分子有机物可进一步被羟基自由基氧化而予以去除。

不锈钢等离子废气净化器去除污染物的基本过程：

过程一：高能电子的直接轰击；

过程二：O原子或臭氧的氧化:O2+e→2O-；

过程三：OH自由基的氧化: H2O+e→OH+H  H2O+O→2OH  H+O2→OH+O；

过程四：分子碎片+氧气的反应。

等离子体化学反应过程中，等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下：

(1) 电场＋电子→高能电子；

(2) 高能电子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团) 活性基团；

(3) 活性基团＋分子(原子)→生成物+热。

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